余向东摇了摇他的手说：“朱总过年好，来，我给你介绍一下。”

他一指身旁的张冲志：“这是夏盛公司的技术总监，张冲志！”

朱宇心中一震，反应过来，当张冲志进门时他感到面熟，这下明白过来。

他上前一步，一把握住张冲志的手高兴地说：“张冲志，久仰久仰！你就是证明哥德巴赫猜想的张冲志啊，你为轩辕国数学界争得了荣誉，为国家争得了荣誉，这是菲尔兹奖的成绩，今天能见到你非常高兴！”

张冲志忙回应说：“朱教授，您过奖了，您的治学和创新精神让学生佩服，您那句：‘我首先是水木大学教授’这句话一直鼓舞着我。

您带领团队一举攻克光刻机的双工作台更大涨了轩辕国的志气，学生佩服不已。”

几人又寒暄了几句分宾主相向而座，今天主要的任务是谈判。

夏卓精密科学科技股份有限公司，是由朱宇带领科研团队一手托起来的。

作为水木大学工程系机械电子研究所所长，水木大学IC装备领域学科带头人，他从2012年开始创立夏卓公司，带领团队历经5年的时间，成功研发出光刻机双工作台系统。

样机已通过国家验收，获得国家科技重大专项认证和奖励。现这个工作台已用在上海微电子的首台28纳米纯国产沉浸式光刻机上。

现在光刻机的双工作台只有荷兰麦和夏卓公司能生产，打破了荷兰麦一家独大的局面。

谈判一开始双方就进入胶着状态，因为双方都底气很足，同前两次一样，夏卓公司以双工作台为法码，坚决要求在光刻机项目中占股40%，这夏盛公司无法接受的。

超浸润光刻机主要由工作台、投影物镜（对于极紫外光线采用反射镜）、光源三大核心系统组成。

而光刻机工作台主要承载晶圆按照指定的运动轨迹做高速超精密运动，并完成一系列曝光所需动作，包括上下片、对准、晶圆面型测量和曝光等，又分为单工件台和双工件台，两者生产效率相差很大。

朱宇教授在谈判中说：“双工作台是高精度超复杂的光刻机设备，外国人认为我们做不出来，可现在却被夏卓公司攻破了。