我们自主研制的双工件台核心模块，即运动定位模块DOMO，它可以让双工件系统实现与掩模台以下1.5纳米的同步运动精度，这为光刻机的2纳米工艺打下了基础，我们的技术值这个价。”

张冲志见双方陷入了僵局，他没有再说什么，而是从张齐手里拿过一个文件夹，从里面取出一份文件，轻轻推到朱宇的面前。

他微笑着说道：“朱教授请您先看一下这份文件，喝口水，我们双方再谈。”

朱宇仔细一看见文件标题是《荷兰麦、夏卓双工件台的特点说明》，他心中一动，忙用手抓起文件，翻看了起来。

做为从4101年就投身在光刻机双工件研发项目中的首席科学家，他深刻明白文件中每个数据代表的意义，这表明对方对双工件台的设计和制作了解有多深。

看到文件最后，他竟看到自己的双工作台所存在的几个缺陷，其中一个竟给出了解决方案，让人有茅塞顿开之感。

这让他极度吃惊，他的心中竟有一种对方可以制造双工作台的感觉，这让他心中大惊。

他忙问张冲志：“你们这份文件是哪里来的？你们难道也研发出来了吗？”

张冲志点点头，又摇摇头，他说：“这取决于您老的态度，如果我们两家达成战略协议，夏盛公司让你们持股5%，我们的双工作台就没有研发出来。

并且帮助你们研发28纳米和5纳米的双工作台，甚至2纳米的双工作台。

如果达不成合作条件，你们还坚持40%的持股比例，一年半后我们将研发完成2纳米的双工作台，并用在对应的光刻机上。”

朱宇大脑轰地一下，他被最后光刻机三个字震到了，他死死盯着张冲志问道：“你能为刚才的话负责吗？特别是最后那一句！”

那句话太让他震惊了！

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