185光刻机终成

会议结束后，张冲志来到余向东经理的办公室，余向东惊喜的问张冲志：“张总监真能生产反射镜片？它的难度太大了！”

张冲志说：“5纳米的反射境片我在春节后就造好了，等我再精磨以下，让公司镀上钼和硅反射膜就可以使用了。

不过对于钼硅反射膜我可以再优化一下，可以减少10%的对极紫外光线的吸收，这样我们研发的二氧化碳激光光源，只要能达到110W功率，就绰绰有余了！这样还可以节约三分之一的光源制造成本。”

余向东一下抱住他说：“你真是神人也！夏盛要为你记一大功！国家要给你记一大功！那我们为什么不全部生产2纳米光刻机？”

张冲志说：“主要是那两台光刻机已达不到2纳米的要求了，再者我们的XS9000芯片性能优异，还不到淘状的时候。

我们2纳米的芯片是一枚核弹，只有关键时刻将它点燃才能发挥巨大的作用，这里面不仅有经济作用，更有政治作用！这事你有时间向尹总说一说，我这就去忙了。”

说完转身向往就走，就知他刚一出门，就被笑眯眯的尹总堵住了。

张冲志忙叫：“尹总好！你怎么来了？”

尹总边推着他重新进屋，边说道:“你是不是对小娜做了什么事，想躲我是不？回来也不向我汇报情况。”

张冲志马上一头黑线，他忙说：“尹总我只是替你去看了一下小娜，她很好，将你的问候送到我就走了。”

尹总满脸不信，他说：“小娜三天前回来了，一见我别的不问先打听你的事，而且不停将你的名字挂在嘴边，说你如何厉害。

我这七八十岁老头子的身体一点也不关心一下，想来我就气，正好找你问问。你老实交待，不可隐瞒！”

嘴角抽了两抽，尊重长辈是轩辕美德，张冲志只好将大体的经过又说了一遍，尹总听完点了点头，这才放过他。

余向东和张冲志又将刚才的话向尹总汇报了一遍，让尹总非常高兴：“我们夏为这架破机器已经快完全修复好了，当换上心脏(芯片)时，一定窜的更高，一览众山小的感觉令人期待啊！”

张冲志将优化好的技术拿了出来，绕过专利壁垒，就带领攻关小组开始工作。

反射镜的镜面加工精度要求是0.3纳米，而一个原子的大小接近0.1纳米，也就是说加工层要在三到四层原子之内。

现在真没有什么机械的加工精度达到这样的精度，利用精密机械加工到一定精度后，可以再利用精磨人工打磨，不过失败率很高，因此一年兰斯麦超浸润光刻机只能生产几十台，这个难度实在是高。