第一百八十五章 光刻机终成

据说兰斯麦的镜片生产公司是蔡司公司,而蔡司生产镜片的人是一个家族,三代都靠这门手艺吃饭,他们吃完饭后的工作就是磨各种镜面。

这个工作对张冲志来说虽说有点难度,但还在他的控制精度之内。

另外他还有黑星,黑星利用探索丝可以上下左右每时每刻测绘镜面的尺寸。

现在世界上最高的测绘记录是由长岛国的冷冻电镜创造的,可以达到0.02纳米的尺度。

现在黑星的探索丝通过这台冷冻电子通道显微镜的校准,测量精度已在0.01纳米,这一精度与原子核尺寸相比还差的远,还有三个数量级。

而且黑星可以通过立体放大,将三十厘米大小的镜面放大到上千平方米大小,张冲志相信可以通过黑星,通过一定的练习,精准控制自己的力度。

他全身机能所能达到的准确率是蔡司公司老师傅的十倍以上,足可生产出更精密的镜片。

由于张冲志的神经反应速度超过人类的40倍,这让他的手法快速,他与黑星待在一个密闭的恒温恒湿无尘的千平大房间内,用了一天的时间。

最后完成了十五套165块5纳米光刻机所用的镜片,也就是布拉格反射器,当然也出了五套废品。

这套加工手法与超级福岗的光感器加工工艺差不多。

而2纳米以后的超级浸润式设备与5纳米的不一样,5纳米是采用NA=0.33的曝光设备。

2纳米需要高解析度的曝光设备,更高的NA化,即NA=0.55(NA是数值孔径,与最大的临界角度有关)。

张冲志又利用一晚上的时间生产了十二套2纳米反射镜片,不过合格的只有七套,废了五套,对于一般人来说,可能合格率达不到百分之一。

NA=0.55的曝光设备,兰斯麦已有设计,不过技术要求太高,需要几年后才能生产出来,张冲志只是将它优化了一下,直接拿来用了,还美其名曰先用先得。

第二天,张冲志就先拿了两套报废的镜片,让攻关小组进行镀钼硅膜实验,测试能够达到的效果。

这种膜经过改良后,真将光能的吸吸率降低了10%,让攻关小组一阵欢腾,因为这可是与奖金挂勾的。

小主,

利用两天时间将15套5纳米镜片镀好膜,又用一天时间将7套2纳米光刻机用镜片也镀好膜,就开始了超浸润设备的全机体制造。