张冲志边制作边指导说解，这些人是他培养的高端光刻机装配人员，为以后大批量生产高端光刻机做准备，当然好让自己偷懒！

他自己动手装配了一套5纳米光刻机，一套2纳米光刻机，第三套就交给工作人员装配去了，他在旁边指导。

只要镜片不毁，其它各种角度的微调让装配人员去摸索吧！

时间又过去了三天，8月14日，张冲志带领光刻机工作团队进行最后的安装调试，所有设备都检查了一遍，各部门都报告没有问题。

张冲志让人打开电源，一盏盏指示灯亮起，主控计算机开始检索，计算机装载鸿盛天机自动控制系统，所有页面都是玄语，让人一看就明白，当然是学玄语的人。

计算机检测完成，发出了让所有人都高兴的“滴”的一声，真是声音清晰响亮，是天籁之音。

接下来就是进行一项项测试；双工作台、测量台、曝光台等运转正常，极紫外激光器发光正常，超浸润系统工作正常。

光束矫正器工作正常，光束形状设置正常，掩膜台工作正常，物镜工作正常……

13个分项，数万个零件，重达五百吨的工业明珠运行正常！

接着开始整体空载运行，正常后开始正式加工，也叫载物运行。

就见一张18英寸，直径450mm的单晶硅硅圆被放在了双工作台上，接着开始硅片表面清洗、烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、激光刻蚀等工序，这个过程需经过多次。

一张越复杂的芯片，它的线路层数越多，越需要精密复杂，越繁锁的曝光控制过程。

当一张450毫米直径的晶圆上布满了密密规则的芯片，终于出现在众人的手上时，许多人都喜极而泣。

张冲志的眼中也贮满泪花，终于，终于，夏盛麒麟公司生产出了高精度的超浸润光刻机，轩辕无高端“芯片”的历史一去不复返了！

尹总和余向东，王守柱、王媛四人带着两张密布芯片的硅圆芯盘，直奔京都而去。

张冲志坚决不去，太麻烦了！

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